| 浙江启尔机电技术有限公司成立于2013年，从事微电子制造装备行业，主要研发、生产和销售高端光刻机浸液系统，以及面向泛半导体行业的流体超洁净流控元件与系统。
公司前身是浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队，团队先后承担国家863计划和国家02科技重大专项等科研项目30余项，获授权发明专利100余项。
公司现有研发及管理人员115人，其中，高级职称5人，博士学历人员10人，技术人员比重达到80%。公司在超精密流体测控、超洁净流体处理等方面拥有丰富的技术经验。
启尔青山湖基地是杭州城西科创大走廊的核心区块，是集成电路设计、制造与装备产业的重要基地。启尔公司作为02科技重大专项承担单位，是青山湖科技城集成电路产业的重要组成部分
ICChina2019明星产品
关键词：超洁净、高精度、快响应
C-L系列超声波流量传感器是启尔公司为各类湿法机台量身打造的超洁净、高精度、快响应流量传感产品。全系列采用高纯PFA注塑成型，所有传感部件不与被测介质接触，确保了在离子析出、TOC、颗粒物等方面均满足SEMIF57要求。经特殊清洗工艺处理后，C-L系列流量传感器在酸性介质下同样能够满足污染物指标要求。启尔独有的零点辨识与跟踪技术，实现了微量气泡、杂质等工况下的可靠测量。温漂抑制、零点补偿和系数修正功能则确保了传感器在全工况范围内的优异测量性能。基于M4架构的核心处理器，为传感器提供了强大的运算处理能力，极大地提升了传感器的测量效率，实现了小于5ms的测量响应速度。
现场活动计划
本次参展的产品主要有超声波流量传感器、超纯水处理系统以及电导率调节系统，计划在现场实时展示产品样机，展位现场的工作人员发放产品宣传手册以及公司订制的小礼品，与参展观众面对面介绍企业及产品特点，并可在现场由设计开发人员对流量计等产品实际进行操作演示。
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